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拋光機操作的關鍵是要設法得到大的拋光速率,以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響終觀察到的組織,即不會造成假組織。前者要求使用較粗的磨料,以保證有較大的拋光速率來去除磨光的損傷層,但拋光損傷層也較深;後者要求使用細的材料,使拋光損傷層較淺,但拋光速率低。

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